Клапан мягкого напуска XVD
Документация
Описание
Клапан мягкого напуска XVD специально разработан для контролируемого и эффективного напуска газов в вакуумные камеры. Уникальная схема двухступенчатого открытия позволяет быстро и деликатно доводить вакуумную камеру до атмосферного давления, что снижает вероятность возмущений и повышает чистоту процессов.
Особенности:
- Двухступенчатое управление: малый клапан обеспечивает предварительный напуск, а основной клапан с большим проходным сечением завершает процесс.
- Высокая прочность: диафрагма выполнена из нержавеющей стали, обеспечивая долговечность и надежность.
- Точная настройка: встроенные регулируемые дроссели для оптимизации скорости напуска.
- Чистота процесса: минимизация загрязнений благодаря мягкому управлению потоком.
Применение:
Клапан XVD идеально подходит для вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности, производстве дисплеев, медицинских и научных приложениях, где требуется точное и бережное управление потоком газов.
Надежный и универсальный клапан XVD станет отличным решением для повышения эффективности и стабильности вакуумных систем.