Высоковакуумный щелевой затвор с пневматическим приводом XGT
Документация
Описание
Высоковакуумный щелевой затвор серии XGT с пневматическим приводом разработан для взаимной изоляции вакуумных объектов в транспортных системах с шлюзовыми или кластерными камерами. Его конструкция обеспечивает надежность и удобство эксплуатации в сложных условиях.
Особенности:
- Подходит для крупных образцов: идеально работает с плоскими пластинами диаметром до 300 мм.
- Защита сильфонного узла: конструкция предотвращает попадание посторонних предметов, повышая долговечность устройства.
- Бесконтактный опрос положения: обеспечивает точное определение состояния затвора без механического износа.
- Разные типы исполнения: доступны кассетный и открытый варианты для различных применений.
Применение:
Клапан XGT является идеальным решением для систем с высокими требованиями к изоляции вакуума, таких как производство полупроводников, дисплеев и в других высокотехнологичных отраслях.
Долговечность, надежность и высокое качество затвора XGT делают его незаменимым элементом современных вакуумных систем.