Угловые клапаны мягкой откатки XLD(V) XMD
Документация
Описание
Угловые клапаны мягкой откатки, предназначены для герметичного перекрытия вакуумных магистралей и ступенчатого управления проводимостью
- Снижают риск появления возмущений в камере и повышают чистоту процесса
- Ресуср более 2 млн. циклов
- Препятсвуют образованию конденсата при быстрой откачке
- Упрощают схему вакуумной магистрали из-за отказа от байпасного клапана
- Снижают нагрузку на насос и риск попадания масла в обьем в момент начала откачки